Dilimleme, temizleme, süet hazırlama, periferik aşındırma, sırttaki PN plus bağlantısının çıkarılması, üst ve alt elektrotların üretimi, yansıma önleyici film üretimi, sinterleme, test ve derecelendirme vb. 10 adım.
Güneş Pillerinin Spesifik Üretim Teknolojisi
(1) Dilim: Silikon çubuk, çok telli kesme ile kare silikon gofretler halinde kesilir.
(2) Temizleme: Silikon levhayı geleneksel temizleme yöntemiyle temizleyin ve ardından silikon levhanın yüzeyindeki kesme hasarı tabakasının 30-50um'unu asit (veya alkali) solüsyonla çıkarın.
(3) Süet imalatı: Silikon gofretin yüzeyinde süet imal etmek için alkali solüsyonda anizotropik aşındırma silikon levha kullanılır.
(4) Fosfor difüzyonu: PN artı bağlantıları, kaplama kaynağından (sıvı kaynağı veya katı fosfor nitrür pul kaynağı) difüzyonla oluşturulur ve bağlantı derinliği genellikle 0.3-0.5um'dur.
(5) Periferik aşındırma: Difüzyon sırasında silikon gofretin yüzeyinde oluşan difüzyon tabakası, pilin üst ve alt elektrotlarını kısaltacak ve ıslak aşındırma veya plazma kuru aşındırmayı koruyarak difüzyon tabakasını kaldıracaktır.
(6) Arka PN plus bağlantısını çıkarın. Arka PN plus bağlantısı genellikle ıslak aşındırma veya taşlama ile çıkarılır.
(7) Üst ve alt elektrotların yapılması: vakumlu buharlaştırma, akımsız nikel kaplama veya alüminyum bulamaç baskı ve sinterleme işlemi kullanılarak. Önce alt elektrot yapılır, ardından üst elektrot yapılır. Alüminyum bulamaç baskı yaygın olarak kullanılan bir işlemdir.
(8) Yansıma önleyici film yapmak: Giriş yansıma kaybını azaltmak için, silikon gofretin yüzeyinde bir yansıma önleyici film tabakası kaplanmalıdır. Yansıma önleyici kaplamaları imal etmek için kullanılan malzemeler MgF2, SiO2, Al2O3, SiO, Si3N4, TiO2, Ta2O5 ve benzerleridir. Proses yöntemleri vakum kaplama, iyon kaplama, püskürtme, baskı, PECVD veya püskürtme olabilir.
(9) Sinterleme: Batarya yongalarının nikel veya bakır yüzeyler üzerinde sinterlenmesi.
(10) Test sınıflandırması: belirtilen parametrelere ve spesifikasyonlara göre, test sınıflandırması.
